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大面积实用高温超导薄膜研究开发

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
发明了铊系高温超导薄膜的制备方法,包括淀积非晶铊系先驱薄膜和低温后热处理工艺。研制出了多用途大面积薄膜磁控离子溅射系统,包括直流磁控溅射和交流磁控溅射。除超导薄膜外,还可用于其它导电薄膜、介质薄膜、单层和多层薄膜的研究和开发。发明了高温超导薄膜超导转变温度和微波表面电阻无损测量方法和测量装置;设计并制作了大面积高温超导薄膜转变温度无损伤测试仪。...
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