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SC-75扩散硅压力传感器

1996年 应用技术
  • 成果简介
该传感器是利用半导体硅的压阻效应,应用半导体平面工艺、特殊封装工艺和测试、补偿等技术制造而成,具有体积小、重量轻、精度高、灵敏度高、可靠性高和稳定性好等特点,产品性能居国内领先水平,达到国际80年代中期先进水平。可替代进口,节约外汇,有较大推广应用价值。...
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