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硅烷气压力提纯及其高压充瓶技术

1995年 应用技术
  • 成果简介
研制了一种电子工业用气瓶柜，代替进口同类配套设备，用于硅烷气的高压充瓶和配制多元混合气的工艺过程。更换工艺气瓶时，用高纯惰性气体对系统进行必要的吹洗，保证了产品的质量，保障操作人员及环境的安全。我们利用自行设计的高压液化汽化器作为课题的主体设备，采用低温分凝，压力提纯技术对硅烷气进行深化提纯试验，代替原流程中的精馏提纯工艺，目的在于保护硅烷气质量的前提下，节约资金，降低成本，简化工艺，试验...
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