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32×32元锑化铟CID红外焦平面器件

1995年 应用技术
  • 成果简介
锑化铟红外焦平面列阵是3～5μm波段中最重要的红外焦平面列阵之一，可广泛用于高背景的凝视型红外成像系统中。该器件具有量子效率高，均匀性好，性能价格比高等特点。该成果解决了淀积，互连，光刻等关键技术问题，器件性能达到：响应率均匀性优于百分之二十，温度分辨率小于0.1度，达到和超过合同指标要求，属国内领先，可尽快用于军事防御、制导、天文等领域。...
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