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精密全息光触计位移传感器技术研究

1994年 应用技术
  • 成果简介
该成果包括：提出以平面波为参考波面的双刀口集合全息元件做为精密位移传感器技术中的离焦检测元件，从而实现精密非接触位移测量。采用了电子束曝光机技术的计算生成全息的方法，生成了红外集合全息光学元件，发展了相关技术：数学模型、编码方法及模版生成；提出不需附加接触式测微计的焦点跟踪法；采用了非球面物镜形成光触针；研制成了精密全息光触针位移传感器系列。该成果可用于长度、位移、位置、圆度、轮廓度、粗糙...
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