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刻蚀气（四氟化碳、三氟甲烷、全氟乙烷、全氟丙烷）研制

1994年

应用技术

成果简介

　　该项成果采用AlCl_3催化歧化及低温精馏工艺，获得高纯4N的CHF_3刻蚀气。四氟化碳研制采用碳型材料直接氟化工艺和低温精馏分离技术，获得4NCF_4刻蚀气。三氟甲烷和四氟化碳都达到吨级工业化生产能力。利用其副产品，经低温精馏和吸附分离，可获得2.7NC_2F_6 和3NC_3F_8刻蚀气。以上四种产品指标均达到国外1987年同类产品水平。...

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