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离子束辅助沉积铜钽非晶薄膜材料制备方法

2005年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
非晶态材料具有优异的力学和电化学特性。过去人们仅能在一些低共晶（低熔点和负混合热合金体系）非晶材料。为在更多的合金体系，尤其是互不固溶系合金体系制备出非晶合金。
本成果开发出一种新型的非晶合金的制备方法（离子束辅助沉积IBAD）：在电子束交替沉积金属多层膜的同时，采用离子束原位轰击所制备的金属薄膜，使多层膜中的不同金属发生混合，其中所利用的离子束能量在中等能量范围（1～...
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