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MO源封装瓶

1994年

应用技术

成果简介

MO源封装瓶是高纯金属有机化合物的专用包装容器，是MOCVD高技术外延生长化合物半导体新型光电功能材料的配套器件。筒体材质为1CR18Ni9Ti，内壁涂F4 和衬F4 两种，阀门材质选用316L。采用全焊接结构和隔膜式截止阀1/4”VCR接头，形成有带加料口的T型、Y型两种，规格为100ML和200ML。该产品封装的MO源经用户在MOCVD装置上使用证明：封装严密、运输安全、使用方便，封装...

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