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L4514Ⅱ－64Ⅰ／RZQ型微机控制扩散系统

1994年 应用技术
  • 成果简介
　　该系统是生产大规模集成电路的关键设备，可满足4寸以下硅片的扩散、氧化工艺的需要。设备由扩散炉主机、超净工作台、送片机装置、气源管路柜及微型计算机柜等组成。其主要特点为：采用先进的单片微机控制，自动化程度高，控制功能齐全，操作方式灵活，工作可靠。使用该设备，可有效地提高半导体器件的成品率和生产效率。...
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