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NGY－2型纳米级润滑膜厚度测量仪

1993年 应用技术
  • 成果简介
该测量仪是薄膜润滑研究的关键设备。它是按光干涉法的相对光强对比的原理，采用白光入射，再用单色仪将干涉光分频，然后用CCD摄像，并经图像采集卡得到干涉图像上待测点的光强值；根据该点的光强值在最大和最小干涉光强间的位置，用光干涉的基本方程计算出该点的润滑膜厚度。经鉴定认为，该仪器设计原理合理，测量方法先进，解决了纳米级点接触摩擦副的润滑薄膜厚度及形态的测量技术，中心区膜厚测量范围0～70nm，...
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