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硅基电润湿微显示器件下基板的制作方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明提供一种硅基电润湿微显示器件下基板的制作方法，包括以下步骤：第一步在硅基片上整面沉积金属或非金属电极层；第二步利用掩膜微影技术制作与阳电极图案相同的光阻图案；第三步以该光阻图案做掩膜，蚀刻金属层，剥离该光阻得到阳电极图形；第四步整面沉积介质层；第五步对该介质层表面进行疏水性处理；第六步利用掩膜微影技术制作像素绝缘层。本发明制作方法工艺简单、良品率高，可以满足硅基电润湿微显示器件下基板大规...
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