首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同，尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像，对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移，降低了空间像位置误差，增加了可检测的泽尼克像差数目，提高了泽尼克像差的检测精度。本发明涉及光刻机，尤其涉及一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。
　　...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统