首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种低温状态下元件平面度的测量装置及方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种低温状态下元件平面度的测量装置及测量方法，测量装置包括激光器、汇聚光学系统、成像光学系统、光电探测器、高精度三维位移平台、专用杜瓦、杜瓦支架、光学避震平台及数据处理装置；被测元件安放于专用杜瓦中；激光器发出的光束通过汇聚光学系统垂直入射于被测元件表面，成像光学系统和光电探测器对激光光斑成像，利用激光三角法测量被测元件表面测量点的微位移；数据处理系统利用质心算法计算激光光斑的位置，控制高精度...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统