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多晶硅铸锭长晶固液界面优化方式

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该项目研发了应用于顶底加热方式的多晶定向铸锭技术。
　　技术创新点：
　　1、在多晶铸锭炉的热交换石墨平台下增加一层软毡，控制坩埚周围热场的变动，达到了长晶固液界面平直的效果。
　　2、在长晶初期采用降低隔热笼提升速率的方式，减小了长晶初期凹固液界面曲率。在长晶后期采用增加顶部加热器温度的方法，减小长晶后期凸固液界面曲率。达到了减少长晶过程中位错增殖的目的，...
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