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多晶硅生产副产物二氯二氢硅循环利用技术

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、课题来源与背景
本成果任务来源于国家工业和信息化部的电子信息产业发展基金项目“多晶硅生产副产物循环利用技术研发及产业化”，项目批准文号工信部财[2010]301号，项目的实施时间为2010年6月至2013年12月。
2、技术原理及指标
本项目是高纯多晶硅规模化生产的关键核心技术之一，其在改良西门子法生产多晶硅的基础上，利用干法...
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