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高效单晶硅棒快速连续拉晶生产工艺

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　单晶硅炉设备是单晶硅棒生产过程中的关键性生产设备，生产过程中作为拉制单晶棒的重要场所，设备的先进性对单晶硅棒拉制成本、质量、能耗、产能等均有较大影响。该设备主要由机架、晶体升降系统、二次加料系统、热场系统、光学控制系统、水冷系统、氩气系统等。
　　本次技术研究结合单晶硅棒拉制过程中引晶、放肩、转肩、等径和收尾几个环节所必须的生产条件，提出“连续加料、26吋热场、水冷热屏、快速收尾”...
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