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产生投影光刻照明模式的装置

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相位延迟单元的相位延迟由相位延迟控制器控制，所述微镜阵列的微镜转动由微镜转动控制器控制。本发明可以获得光刻机需要的强度模式和偏振模式的照明，而且具有结构较简单，操控方便的特点...
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