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微机械变压器及其制作方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压Vin，第二导体2输出感应电压Vinduc。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀...
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