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MgZnO基光电导型紫外探测器的制作方法

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种MgZnO基光电导型紫外探测器的制作方法，包括对玻璃基底进行清洗，在无基底温度的情况下在玻璃基底上溅射MgZnO合金薄膜层；在常压下，于空气中对溅射MgZnO合金薄膜层的玻璃基底进行退火处理；利用真空蒸发方法在薄膜上镀厚Al叉指状电极。本发明制备的MSM结构的MgZnO合金薄膜基光电导探测器原型器件，改善了所沉积薄膜的晶体质量，探测器暗电流小，光照电流与暗电流差别较大，具有良...
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