首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

表面传导电子发射平板显示器件的电子发射源制作方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明涉及表面传导电子发射平板显示器件技术，公开了一种表面传导电子发射平板显示器件的电子源发射源制作方法。该方法首先采用用湿法刻蚀的手段，结合局部氧化工艺在110面单晶硅片表面制作氧化硅纳米线阵列，在采用溅射或喷墨打印的方法在氧化硅纳米线上制作“L”形的电子发射薄膜阵列，然后采用腐蚀氧化硅纳米线，并剥离氧化硅纳米线上的电子发射薄膜，形成纳米狭隙阵列，最后制作行、列电极即可。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统