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基于MEMS技术的电子膨胀阀

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、产品(技术)简要说明:
MEMS膨胀阀是基于MEMS技术的新型流控器件。它是利用MEMS微加工技术将单晶硅加工成特殊的微结构,在外界输入能量(电压、电流或磁场)的驱动下,产生内部的微致动,改变体内微流体的流动状态,从而驱动和控制外围主流体阀门的动作。
与传统节流装置比较,MEMS膨胀阀具有快速响应、精确控制、体积微小、低功耗等突出优势,可以广泛应...
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