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电容式触摸屏Sensor玻璃

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

项目解决了有机材料的放气对真空的影响，实现ITO低温沉积；设计了Mo/Al/Mo技术方案，保证蚀刻速率的一致性；通过对曝光机CCD光源系统的改进，确保了各层图形间的对准精度，有效解决了上下层ITO间短、断路问题。生产工艺技术为国内首创。利用上述生产工艺技术，研制出电容式触摸屏Sensor玻璃，其透过率≥88%，光刻线框精度控制在±4μm，在60。C、240hrs的条件下配线阻抗≤110%，...

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