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一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置，该排气装置包括排气环，在排气环中设置了容纳冷却液并使其流通的若干内部空槽，以及使反应区域内的反应气体贯穿所述排气环排出的结构。本实用新型在实现均匀排气的同时，设置连接排气环的至少两个连杆，在排气环与连杆中设置相连通的内部空槽供冷却液循环流通，实现对排气环的冷却；并且，该排气装置还包括外环部分，离开反应区域的反应气体沿着外环部分向下流动，有效减少...
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