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一种合成三氯氢硅的反歧化装置及合成方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目技术是内蒙古锋威硅业有限公司研究开发。二氯二氢硅在改良西门子法中,利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅,其特征是二氯二氢硅与四氯化硅在反应精馏塔中上部反应,反应精馏塔塔顶得到未完全反应的二氯二氢硅,于塔顶和塔中部回流,塔底得到二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合物,进入脱轻塔脱除轻组分,脱轻塔塔顶得到二氯二氢硅回流至反应精馏塔循环利用,塔底得到三氯氢硅和四氯化硅的混合物,进入脱重塔...
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