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Piranha处理基板液相沉积制备SrTiO3功能陶瓷薄膜的研究

2013年

基础理论

成果简介

采用Piranha溶液处理基板与液相沉积技术相结合，以Sr（NO3）2，（NH4）2TiF6和H3BO3为起始反应物配制前驱液，在玻璃基板上成功制备了SrTiO3薄膜。利用接触角测试仪研究了Piranha溶液浸泡时间对基板接触角的影响，采用偏光显微镜、X射线衍射与扫描电镜（SEM）表征了前驱液pH值、沉积温度、沉积时间等因素对薄膜制备的影响。课题同时尝试从理论上对反应机理进行了探讨。采用...

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