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多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目2010年列入青海省科技厅高新技术研究与发展计划，项目编号是2010-G-224A。本项目采用低温四氯化硅氢化转化技术。其反应过程主要是；在氢化反应炉中加入硅粉、氢气、四氯化硅和催化剂，通过化学反应将多晶硅生产的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，大大降低了生产成本和环境污染。
多晶硅生产副产物四氯化硅综合循环利用技术是制约我国多晶硅行业发展的技术瓶颈...
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