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卧式真空镀膜机自动装、卸片机构

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　真空镀膜工艺过程中基片清洗后，采用基片架承接，运送至真空镀膜相中镀膜，镀膜结束后，基片也需要从基片架中卸出，业内传统的方法就是人工进行上片、卸片，不仅操作人员难懂强度大，生产效率底下，而且无法避免手工操作对玻璃基片的污染甚至损坏，影响基片镀膜后膜层的质量。
　　本发明克服了现有技术的不足，而提供了一种技术简单，运行可靠，自动化程度高，自动精确装载和卸载基片的卧式真空镀膜机自动装卸片...
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