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石英玻璃管用高纯石英砂关键技术研究及其产业化

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　进一步提高石英玻璃管原料的纯度，以满足半导体高科技应用领域生产高纯石英玻璃管的要求，是本项目的主要目的。石英玻璃管的外观质量水平是其是否合格的必要指标，石英玻璃原料中的气液包裹体，在生产过程中会在产品表面形成气泡气线，不仅严重影响石英玻璃的外观质量，同时也会降低石英玻璃的纯度影响到半导体元件的质量。解决原料中气液包裹体对石英玻璃管纯度的影响，是提高石英玻璃管质量的关键之一。为此本项目进行了以下...
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