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微纳米几何量量值溯源的关键技术研究

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
国家质检总局“微纳米几何量量值溯源的关键技术研究”项目是针对我国半导体产业和先进制造业快速发展的需求、为了提高我国微纳米尺寸标准样板的计量与表征能力、建立我国的微纳米测量溯源标准而开展。
在微纳米几何量测量和评价方法方面，以大量实验数据为依据，通过对循迹方法、测量评价方法、表面材料特性等测量溯源相关方面的研究和创新，获得25mm×25mm的扫描范围，5nm的定位重复精度...
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