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副产尾气回收综合利用

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目将三氯氢硅样品中的磷、硼杂质通过氢还原后通入逆式混气室，利用干冰-丙酮将三氯氢硅主体冷凝成液态。根据液化点特性，磷化氢、乙硼烷以气态形式存在，把干冰-丙酮放在还原炉出口与捕集柱之间，从而实现氯代硅烷与磷化氢、已硼烷的分离。
经干冰-丙酮冷凝后，三氯氢硅被冷凝成液态，而PH3、B2H6不被液化，再经液氮温度下的DC-550柱捕集，PH3、B2H6定量富集在DC-55...

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