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流动气体气压自动调节装置

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种流动气体气压自动调节装置,包括真空计和阀体,特点是:所述的阀体是一个微调阀体,该微调阀体的进气端有进气接头和微调进气阀,输气端有真空探测头,在所述的微调进气阀和真空探测头之间还有压电陶瓷阀,所述的真空探测头的信号输出端经第一电线接所述的真空计的输入端,该真空计的输出端经数据线、数/模转换器、第二电线接压电控制器的输入端,该压电控制器的输出端经第三电线和微调阀体上的密封导电板接所述的压电陶瓷...
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