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Si/SiGe异质结晶体管(HBT)稳定性和可靠性研究

2010年 应用技术
  • 成果简介
由北京工业大学张万荣教授主持完成的北京市自然科学基金项目“Si/SiGe异质结晶体管(HBT)稳定性和可靠性研究”,项目针对提高Si/SiGe异质结晶体管(HBT)的热稳定性,新型器件的可靠性问题以及可靠性评估方法进行了广泛而深入研究。
项目详细研究了基区杂质外扩对器件特性的影响,提出基区两侧本证层(i-SiGe,i-Si)厚度优化方法,并成功用于器件制造,提高了器件性...
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