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盐酸气体中痕量水份测定仪

2010年 应用技术
  • 成果简介
该仪器由我院化工所研制成功，可应用于大规模集成电路元器体所用的电子级气体含水量检测，以及HCI和惰性气体中含水量的检测，可检测到3ppm以下的痕量水份。
该仪器采用微型计算机控制，采气量小、精度高，达到国际上同类产品水平。每台售价比国际上同类产品便宜4万元左右。该仪器填补国内空白，荣获北京市科技成果三等奖。
合作方式：
　　出售产品。...
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