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射频MEMS开关

2009年

应用技术

成果简介

项目概况：RFMEMS开关采用MEMS工艺制作，具有体积小、功耗低、高隔离度、插入损耗小等特点。RFMEMS开关在信号频率高于1GHz时，其插入耗损为0.2dB，隔离性能大于30dB，采用MEMS开关将大幅度地提高整个系统的性能。RFMEMS开关由共平面波导（CPW）、悬梁、触点和电极等部分构成。共平面波导为2μm的金薄膜，采用溅射方法制备；悬梁为0.7～1μm的氮化硅薄膜，用PECVD法...

相关成果

1. 射频硅基开关线型MEMS移相器的研究
2. 一种MEMS光开关
3. T型触点射频MEMS开关的制备及其形变的光学干涉法研究
4. 电磁驱动的MEMS微光开关
5. 射频微机械开关封装外壳
6. 基于微电磁驱动器的MEMS光开关研制
7. 接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器
8. 新型MEMS集成技术—高频开关及其功能电路集成研究
9. 射频微电子机械单刀双掷开关
10. 1×2、2×2、4×4、1×8、8×8系列MEMS光开关及制造方法
12. MEMS设计方法
13. 基于中心抽头电感开关的射频双频段压控振荡器
14. MEMS微组装制造平台
15. MEMS方位水平仪
16. 微型MEMS致冷器
17. MEMS方位水平仪
18. 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波机械开关及制作方法
19. CDMA射频前端及射频关键器件
20. 带有纳米复合结构磁颗粒薄膜的射频微机械电子系统（RF-MEMS）平面集成电感
21. MEMS部件设计仿真库系统
22. MEMS系统级设计方法
23. 新型MEMS湿度传感器
24. 铁电体微型MEMS致冷器
25. MEMS封装材料数据库
26. 基于MEMS的灵巧蒙皮技术
27. 一种微型扭转式单刀双置射频开关结构及制作方法
28. 射频电源
29. 虚拟MEMS加工工艺原形系统
30. MEMS气体流量测控仪表
31. MEMS装配关键技术及设备
32. MEMS动态测试技术及设备
33. MEMS设计关键技术及器件
34. 基于MEMS的输液报警器
35. 硅基级联式MEMS移相器
36. 一种MEMS扫描微镜
37. 基于MEMS的货物安全跟踪系统
38. 新一代移动通信用大功率射频开关的研制与批产
39. CDMA射频直放站
40. 射频前端技术
41. RF射频前端
42. 集束射频电缆
43. 固体射频电源
44. 射频清洗工艺
45. 用于信息安全的MEMS强链
46. MEMS加工与测试、模拟与参数提取
47. MEMS检测及微操作系统
48. 基于MEMS的消化道诊疗系统
49. 基于MEMS的高效细胞电融合系统
50. 汽车用MEMS压力传感器
51. 基于MEMS技术PCR、CE生物芯片
52. Si基MEMS红外光源制造技术
53. 汽车用MEMS压力传感器
54. MEMS车胎压力监测系统
55. 1005型射频电感
56. 医用射频消融导管
57. SCMDA 终端射频芯片
58. 防射频电雷管
59. 系列射频模块项目
60. 防雷型射频模块
61. CMMB射频同步装置
62. 高密度基因芯片及其MEMS技术
63. CMOS MEMS加工平台共性技术研究
64. MEMS封装工艺模拟与仿真库
65. MEMS耐高温压力传感器
66. 一维MEMS微镜静电弹性耦合
67. MEMS加工与封装建模、模拟与IP库
68. 微机电系统(MEMS)集成设计平台
69. 非硅MEMS技术及其应用研究
70. MEMS可调衰减器(VOA)中试生产
71. 光纤询问式MEMS压力传感器
72. 一种MEMS器件制作方法
73. 基于MEMS的引信安全系统
74. 射频有源天线
75. EAS射频防盗软标签
76. 射频癌症治疗仪
77. 射频磁控溅射台
78. 射频阻抗分析仪
79. KU波段VSAT射频设备
80. 多弹头射频治疗系统
81. 多频段射频模块产品
82. 射频识别金属标签
83. 射频识别(RFID)技术
84. RFID(射频识别)技术
85. 超低功耗射频标签
86. 神经射频治疗仪
87. 射频导纳物位仪
88. 基于MEMS技术的DNA-PCR芯片研究
89. 基于虚拟现实技术的MEMS设计环境
90. MEMS强链及其应用技术研究
91. 基于MEMS技术的PCR、CE生物芯片
92. 面向MEMS的可靠性综合测试平台
93. 软开关高频开关电源技术
94. 微机械光开关、光开关阵列
95. 基于MEMS的微麦克风实用化研究
96. MEMS加速度传感器（KA1000）
97. MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量系统
98. 新型MEMS传感器阵列及其应用研究
99. MEMS器件与IC电路集成化技术研究
100. 微机电系统(MEMS)微波、毫米波移相器

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