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雾夜环境安全辅助驾驶技术--光学读出红外成像系统

2009年

应用技术

成果简介

本项目利用双材料微梁阵列的变形原理，开发了基于MEMS的新型非制冷红外探测器，并推出了针对军用和民用市场的不同性能需求的红外探测器。优点：温度灵敏度高(NETD＜200mk)，无Johnson噪声，无需制冷，与通用IC工艺兼容，成本低。研究成果的与国内水平以及国内外情况比较，本项目的FPA设计制作从根本上改变了已有的观念限制，提出了在无基底的氮化硅薄膜（约2微米厚）上刻蚀制作微梁阵列的概念...

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