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硅纳米结构及纳米电子器件研究

2001年 基础理论
  • 成果简介
本项目主要来源于国家自然科学基金、江苏省自然科学基金和国家攀登计划项目、“863”项目“973”项目等国家和省部级课题,以及国际合作课题。
随着信息技术的高速发展,硅集成电路器件的尺度正从亚微米向纳米级进展,传统的微电子学的研究内涵向着纳电子学延伸。新的物理机制、新的材料、新的器件结构、模式及工艺技术是当前国际硅纳电子学研究的热点。本项目围绕着硅纳电子学的发展方向,对纳...
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