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低静电铌酸锂、钽酸锂晶片

2009年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　铌酸锂（LiNbO3）、钽酸锂（ LiTaO3）均具有优良的压电性能，利用这一特性两者已被广泛地用于制造声面波器件（SAW），但同时因LiNbO3 ， LiTaO3又都具有较大的热释电性能（优良红外探测材料），造成SAW器件制造过程中晶片表面的静电积累现象，致使晶片开裂，亚微米级的叉指难以形成。利用掺杂或扩散技术，改变LiNbO3 ， LiTaO3晶体的晶格结构，使之具有较低的热释电性，从而达...

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