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金属蒸汽真空弧离子源

1990年 应用技术
  • 成果简介
金属蒸汽真空弧离子源(简称 MEVVA源)，采用真空弧放电原理，由阴极表面直接生强金属等离子体，经引出产生强金属离子束。该源具有产生金属离子种类多、束流强、电荷态高、束流纯、束斑大等突出优点。采用 MEVVA源的金属离子注入机，可省去常规注入机的磁分析器，扫描和加速系统，使注入机变得简单、体积小、成本低、操作方便可靠、效率高，成为新一代强流离子注入机，将加速金属离子注入材料表面改性技术实用...
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