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光镀金刚石锯丝快速洁净制造技术及装备

2009年 应用技术
  • 成果简介
在大尺寸半导体基片和功能晶体的切割中，固结磨料线锯以无可比拟的优点被认为是最有前途的切割方法之一。与现有的几种固结超硬磨粒的方法相比，用光敏树脂作为结合剂制作固结磨料金刚石线锯丝的新方法，可以实现低成本、快速、洁净的线锯制造。由于光敏树脂通过紫外光照射就可以引起聚合交联反应，瞬间实现固化且无有害气体产生，因而其能耗小、效率高、清洁环保的特点十分明显。研制的光镀金刚石锯丝制造装备可以实现走丝...
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