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高纯三甲镓的纯化及生产技术

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
高纯三甲基镓是金属有机化合物气相沉积技术制备二院、三元、四元化合物半导体材料GaN AlGaInP GaSb的关键支撑材料。以金属镓为原料 ,通过格式试剂技术制备三甲基镓,经过精馏、加合物提纯,除掉对半导体材料影响巨大的有害金属杂质,得到纯度99.9999%以上的高纯三甲基镓。同时建立超纯金属有机化合物检测方法。
国内尚无高纯三甲基镓的生产厂家,目前主要依赖进口美国...
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