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离子镀TiN涂层在模具上的应用研究

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
离子镀工艺属于物理气相沉积（PVD）的一种。离于镀TiN涂层工艺的基本原理是把金属蒸发源作为阴极，与作为阳极的真空室产生弧光放电，使阳极金属靶材钛蒸发并离子化，再与通入室内的离子化氮气结合形成TiN，沉积在加有负偏压的工件表面。由于TiN涂层具有高的硬度、高的耐磨性及耐蚀性等特点，已在刀具上取得成功应用，但因模具恶劣的工作条件，国内外TiN涂层在模具上的应用还极为困难，因而本课题的研究具有...
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