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晶体硅太阳电池用新型减反射钝化薄膜的制备技术

2008年 应用技术
  • 成果简介
　　利用太阳电池发电是解决能源和环境问题的重要途径之一，其大规模利用的关键是制备低成本、高效率的太阳电池，而制备高质量的减反射钝化薄膜是制备低成本、高效率的单晶硅或多晶硅太阳电池的关键技术之一。
　　本项目组所开发的新型减反射钝化薄膜制备技术与目前产业界所用的氮化硅薄膜或氧化钛薄膜相比，具有以下特点：在波长范围（200nm～1000nm）内减反射效果更佳，尤其在（200nm～400nm...
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