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同一半导体芯片不同周期全息光栅的制作方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种同一半导体芯片上不同周期全息光栅的制作方法，包括：在衬底上依次生长下波导层、多量子阱层、上波导层和保护层，得到含有半导体波导结构的芯片；将含有半导体波导结构芯片上表面的保护层均匀地涂光刻胶、掩膜光刻、显影、部分腐蚀保护层，得到第一周期光栅的制作区域；采用光学全息曝光的方法在腐蚀掉保护层的部分、上波导层上制作第一周期光栅；腐蚀掉剩余的保护层；在整个芯片表面均匀地涂聚酰亚胺，保护第一周期光...
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