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包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器件的制备方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器件，在稀土离子注入的基础上，利用大剂量的杂质离子注入的办法在硅基二氧化硅薄膜里引入大量的非桥键氧原子，这种非桥键氧原子和稀土离子结合形成有效的稀土发光中心，其中包括：一p-型或n-型硅衬底；一掺杂层，该掺杂层制作在硅衬底上，该掺杂层是在硅衬底上生长的二氧化硅上用离子注入的方法形成的，该掺杂层是发光器件的有源区；一n-型或p-型多晶硅层，该n-型或p-...
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