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微驱动结构的变位增幅装置及其制造方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
一种微型机电系统技术领域的微驱动结构的变位增幅装置及其制造方法。本发明装置中，静电式梳状微驱动器是组成变位增幅装置的基本部件，它是由相对成叉指状的固定梳齿部分与可动梳齿部分组成，弹簧梁与增幅部分相连组成结构的增幅杠杆，可动梳齿通过细梁与弹簧梁的上下两端分别相连，支点位于弹簧梁的中间。
制造方法为：首先预制掩模板，将设计好目的结构图案迁移在SOI晶片表面；其次用感应耦合反...
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