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一种生长直拉硅单晶的重掺杂方法及掺杂装置

2005年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及自熔融提拉法单晶中的掺杂工艺及设备。该法将掺杂剂置于石英舟中，当硅单晶体形成圆柱体后，其圆柱体长度处于0～200毫米之间的任一长度时，在拉制硅单晶体的同时，将掺杂剂加热形成气体，扩散到硅熔体中，使掺杂剂全部挥发成气体过程中，继续进行硅单晶的拉制，至硅单晶拉制完成。其掺杂装置包括支台、热场上盖，送料器、石英舟和喷气器。石英舟位于冷却室中，当进行掺杂时，将石英舟推至冷却室内部的喷气器...
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