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用于金属有机化学气相沉积系统中的加热装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积系统中的加热装置，它包括衬底、石墨舟、感应圈和托架，特征是石墨舟由扁平圆柱体和圆筒体构成，圆筒体加工在扁平圆柱体的底部中央。在圆筒体内加工有用于插入测温头的凹槽。本发明由于在传统的扁平圆柱体形状的石墨舟底部中央加工有一圆筒体，当感应圈通电工作时，石墨舟下部的圆筒体处在场强最高的区域，会吸收更多的电磁能而产生更多的热量，热量会向上传导使石墨舟的中心区域得到...
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