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集成式六自由度微型惯性测量组合

2007年

应用技术

成果简介

　　对运动物体在X，Y，Z三个方向的线运动和角运动进行测量的传感器。
　　性能指标：测量出X，Y，Z三个方向的线速度和角速度。
　　特点：本设计采用具有高深宽比的溶片工艺将三个方向的线加速度测量和三个方向的角速度测量表头集成在一个平板上，区别于以往所采用的立方体载体的集成方法，大大降低了表头的体积和重量。
　　适用范围：汽车、弹道修正和航天器的姿态稳定等。 <...

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