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双频共焦台阶高度显微测量装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL02120884.0
　　本发明属于表面形貌测量技术领域，涉及双频共焦台阶高度显微测量装置，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜，放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜；还包括第二块分光镜，分别放置在该分光镜的反射光路上的格兰...
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