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对于平板表面形貌的干涉测量装置

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，包括产生干涉光束的物光和参考光。物光是由激光光源发射的激光束经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上后反射回来的光束经第二透镜和第一分束器的反射，透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，由光折变晶体返回再镜第五透镜至第三分束器。参考光是由第二分束器反射的光束经第一反射镜、第七透镜、第六透镜和第二反射镜至第三分束器与物光相遇产生干涉...
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